1. A maratókamra végső vákuumfoka: kisebb vagy egyenlő, mint 9.0×10-5Pa;
2. Maratási anyagok: szilícium, kvarc, III.-V vegyületek, kerámiák és különféle fémek, nem fémes keményfóliák stb.;
3. Maratási sebesség: nagyobb vagy egyenlő, mint 10 nm ~ 200 nm/perc (az adott maratási anyagtól és eljárástól függően);
4. Ionforrás: Φ150mm átmérőjű kör alakú egyenáramú ionforrás;
5. Ar+ ion energiatartománya: 100~1000 eV;
6. Ionnyaláb sűrűsége: 0~1 mA/cm2.