Ionsugaras maratógép

Ionsugaras maratógép

Az ionsugaras maratás (IBE) egy vékonyréteg-technika, amely ionforrást használ az anyageltávolítási folyamatok végrehajtására a hordozón. Az IBE egyfajta ionsugaras porlasztás, és akár előtisztításra, akár mintázott maratásra használják, segít a kiváló tapadás és 3D-s struktúrák pontos kialakításában.

Ez a gép egy rendkívül kollimált, nagy pontosságú és rendkívül megbízható nanoméretű fizikai maratási berendezés.

Támogatja a nanohuzal szélességi pontosságát és a több típusú, nagy oldalarányú mintázat maratását, anyagtípustól független, magas kollimációs maratást, magas maratási sebességet és jó ismételhetőséget.

Síkrácsok, nagy felületű speciális rácsok, DOE diffrakciós komponensek, MEMS eszközök, vékonyfilm áramkörök, fotonikus integrált eszközök

• A magkomponens ionforrása egymástól függetlenül vezérelhető.
• IBE és RIBE kompatibilis, opcionális munkamódokkal.
• Különböző anyagok nagy pontosságú maratására alkalmas, akár 20nm vonalszélességig.
• Jó folyamatképesség és gyártási megbízhatóság.
• A SiO/Si rács alsó és oldalfala egyenes.
• Lehetővé teszi a sugárenergia és az ionfluxus független szabályozását.
• A folyamat alacsony nyomású munkakörnyezetben zajlik.
• Ellenőrzött anizotróp maratást eredményez.
• Lehetőséget biztosít az összes ismert anyag maratásához.
• A minta/maszk felületéhez képest változtatható maratási sugárszögnek köszönhetően szögben állítható profilszabályozást tesz lehetővé.
• Lehetővé teszi a profil/oldalfal vezérlését és a jellemzők alakítását.
• A reaktív gáz képességei nagyobb maratási sebességet és nagyobb szelektivitást tesznek lehetővé különféle anyagok reaktív anyagokon keresztül történő maratásához.

Népszerű tags: ionsugaras maratógép, kínai ionsugaras maratógép gyártók, gyár